怎么根據氯化氫的本身特性來(lái)進(jìn)行選擇

    氯化氫氣體管件在安裝時(shí)，施工原則是應盡可能地以連續式且無(wú)接口的方式進(jìn)行，這樣可以減少使用接頭的數量，降低潛在的氯化氫氣體泄漏風(fēng)險。

    管件與管件間的連接最好以軌道式焊接法（orbital welding）來(lái)接合，對于不銹鋼的焊接要采用氬弧焊，并向施焊管內通入同等純度的氬氣，這樣可以確保連接的品質(zhì)，并防止管件內壁因不當的焊接而沉積碳，從而造成氯化氫氣體管件的污染。

    管件與各種配件之間的連接必須以金屬面對金屬面密封（metal to metal face seal）的方式進(jìn)行。一般晶圓廠(chǎng)比較常用的氯化氫氣體管路連接的接頭方式有vcr 和swagelok兩種，具體選用形式應根據生產(chǎn)工藝對高純度氯化氫氣體的用氣要求和氯化氫氣體本身特性進(jìn)行選擇。

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